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CKPP 光罩自動化傳送盒

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Reticle SMIF Pod 光罩載具

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RSP150 - 光罩載具

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光罩傳送盒

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光罩出貨盒

單片光罩盒 / 光罩出貨盒 / 光罩儲存盒 / 光罩載具，避免光罩遭受外部微塵粒子及化學污染。採ESD靜電消散材質，避免光罩受到靜