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Reticle SMIF Pod 光罩載具
光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150,高潔淨度可杜絕空氣中的汙染,確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護,應用於自動化曝光機台。
光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150 / CKAP / 光罩載具 |
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光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150,高潔淨度可杜絕空氣中的汙染,確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護,應用於自動化曝光機台。
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