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光罩傳送盒

光罩傳輸盒 / 光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150，高潔淨度可杜絕空氣中的汙染，確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護，應用於自動化機台。

光罩傳送盒

光罩傳輸盒 / 光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / ASYST ASML Pod

產品名稱：
ASYST ASML Pod 光罩自動化傳輸盒

產品編碼：RSP-A-A

產品尺寸：230(L) x 214.5(W) x 92(H)mm

重　　量：1298.5g

容　　量：1 PCS

適用光罩：6025光罩
　　　6吋厚度0.25 inch(=6.35mm)之光罩

組成材質：ABS / PC

光罩傳輸盒 / 光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150，高潔淨度可杜絕空氣中的汙染，確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護，應用於自動化機台。ASYST ASML Pod適用於ASML曝光機。

專利字號：台灣專利字號第M409239號


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