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光罩傳送盒

光罩傳輸盒 / 光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150，高潔淨度可杜絕空氣中的汙染，確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護，應用於自動化機台。

光罩傳送盒
光罩傳送盒

光罩傳輸盒 / 光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / ASYST ASML Pod
 
光罩傳輸盒
產品規格
產品名稱：
ASYST ASML Pod 光罩自動化傳輸盒
產品編碼：RSP-A-A
產品尺寸：230(L) x 214.5(W) x 92(H)mm
重　　量：1298.5g
容　　量：1 PCS
適用光罩：6025光罩
　　　6吋厚度0.25 inch(=6.35mm)之光罩
組成材質：ABS / PC
 
產品說明

光罩傳輸盒 / 光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150，高潔淨度可杜絕空氣中的汙染，確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護，應用於自動化機台。ASYST ASML Pod適用於ASML曝光機。

吋別 材質 產品編碼 充氣功能 金屬遮蔽 裝箱數
ASYST ASML Pod ABS RSP-A-A x x 4 PCS
ASYSYT Metal Pod ABS+SUS RSP-A-M x v 4 PCS
ASYST NIKON Pod ABS RSP-A-N x x 4 PCS
BKM7 (RSP150) PEEK RSP-BKM7 v v 4 PCS
UPPP (RSP150) PEEK RSP-UPPP v v 4 PCS
UPNP (RSP150) PC RSP-UPNP x x 4 PCS
CKPP (RSP150) PEEK RSP-CKPP v x 4 PCS
CKAP (RSP150) ABS RSP-CKAP v x 4 PCS
Nikon Reticle Case ABS+AL NR-C150 x x 14 PCS
產品特點
專利字號：台灣專利字號第M409239號
客製化項目
光罩傳輸盒RFID安裝   光罩傳輸盒條碼貼紙   光罩傳輸盒Run Cad 安裝
光罩傳輸盒RFID安裝   光罩傳輸盒條碼貼紙   光罩傳輸盒Run Cad 安裝

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