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光罩擦拭機

光罩擦拭機，清潔光罩，雙邊移動擦拭座，擦拭棒採快速更換設計。復歸式把手，保持擦拭棒於預擦拭位置上方。防塵蓋(Pellicle護蓋)
點Pellicle Particle機台

用無水酒精去除光罩pellicle上面的髒汙專利字號：台灣專利字號第M557839號中國大陸專利字號第CN207457699U號
AGV 無人搬運車

搭載機械手臂可行進於各工站之間搬運晶圓盒，高效、準確、靈活地完成自動化載具搬運傳輸。可由多台AGV自動無人搬運車組成物流搬運系統，
Wafer Aligner - 晶圓尋邊器

承載半導體,二級發光體磊晶片、長晶片、晶圓片的容器使用在不同半導體,二級發光體長晶磊晶電池片製程中1.有多種材質可選擇，一般材質或
晶圓轉換器

承載半導體,二級發光體磊晶片、長晶片、晶圓片的容器使用在不同半導體、二級發光體長晶磊晶電池片製程中，有多種材質可選擇，一般材質或抗
真空吸筆組

Vacuum Picker / Vacuum Pen /真空吸筆組 / 晶圓吸筆組用於吸附晶圓，有多種材質可選擇，耐高溫、耐酸鹼、