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開發產品為晶圓、光罩、面板保護承載及傳輸使用,提供無塵清洗以及實驗室檢驗服務。
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晶圓傳輸盒; 硅片傳送盒; 晶圓製程

規格說明: 外觀尺寸: 292.2(L)x282.8(w)x253.8(H) mm 承載容量:

8寸光罩傳送盒/ 8" SMIF POD
8寸光罩傳送盒/ 8" SMIF POD
規格說明:
外觀尺寸: 292.2(L)x282.8(w)x253.8(H) mm
承載容量: 8吋晶圓卡匣 x1
適用晶圓: 8吋
組成材質: 客製化

Dimension:  292.2(L)x282.8(w)x253.8(H) mm
Capacity: 1 Set 8”Wafer CST
Wafer size: 8inch
Material: Customized

用途說明:
提供光罩片進出各種俱標準化機械介面之半導體製程設備及輸送系統,或儲放於一潔淨環境時,避免置放於其中的光罩片遭受微小塵粒(Particles)的污染,達到控制微小塵粒污染的目的。
#光罩盒#半導體#SMIF#POD#晶舟傳送盒#晶舟盒

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