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開發產品為晶圓、光罩、面板保護承載及傳輸使用,提供無塵清洗以及實驗室檢驗服務。
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客製化OHT晶圓框架提籃 *

Wafer Frame Cassette / 晶圓框架提籃 應用於半導體封裝製程中,承載固定晶圓的框架(Metal Frame) ,抗靜電材料,輕量化、密閉設計,隔離保護晶圓,用於各製程機台傳送儲存及保護封裝晶圓。

客製化OHT晶圓框架提籃 *
客製化OHT晶圓框架提籃 *

OHT Frame Light Cassette / 客製化OHT晶圓框架提籃 *

 
OHT Frame Light Cassette
產品規格
產品名稱:OHT Frame Light Cassette
產品編碼:FR-C300-O
產品尺寸:客製化
容  量:13 PCS
適用晶圓:12 inch (Ø300mm) 晶圓
組成材質:PC ESD
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產品說明

Frame Light Cassette / Wafer Frame Cassette / 晶圓框架提籃 應用於半導體封裝製程中,承載固定晶圓的框架(Metal Frame) ,抗靜電材料,輕量化、密閉設計,隔離保護晶圓,用於各製程機台傳送儲存及保護封裝晶圓。

門片可客製化設計,無門片款、支援SEMI機械開啟門片款,皆可客製開發。

因應工業4.0智能工廠的趨勢,開發支援OHT Handling的Frame Cassette,傳輸上可搭配AMHS,減少人力搬運作業。

品名 吋別 產品編碼 容量 差異
Frame Light Cassette 12" FR-C300-L 13 pcs 檔門活動式
Frame Light Cassette(OHT) 12" FR-C300-O 13 pcs 檔門活動式
Frame Airtight Cassette 8" FR-C200-A 25 pcs 檔門掀開式
Frame Airtight Cassette 12" FR-C300-A 13 pcs 檔門掀開式
Wafer Frame Cassette
產品特點

專利字號:
台灣專利字號第M489156、M508114號
中國大陸專利字號第CN204792730U號

客製化項目
可雷雕、可裝RFID 進行載具&材料追蹤

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