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晶圓盒 200mm(8吋)
PEEK Cassette 晶舟盒 晶圓載具 承載半導體晶圓片的容器,使用在站別運輸或出貨用途,不可使用於化學製程。PEEK Cassette 13 Slot 適用於加厚晶圓或薄化晶圓使用。
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