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開發產品為晶圓、光罩、面板保護承載及傳輸使用,提供無塵清洗以及實驗室檢驗服務。
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晶圓盒 200mm(8吋)

PEEK Cassette 晶舟盒 晶圓載具 承載半導體晶圓片的容器,使用在站別運輸或出貨用途,不可使用於化學製程。PEEK Cassette 13 Slot 適用於加厚晶圓或薄化晶圓使用。

200mm(8吋) 晶舟盒
200mm(8吋) 晶舟盒

200mm(8吋) PEEK Cassette 13 Slot/ 晶舟盒 / 晶圓盒 /晶圓載具

 
200mm(8吋) PEEK Cassette / 晶舟盒/晶圓載具
產品規格
產品名稱:8" PEEK Cassette 13 Slot
產品編碼:PK-C200-T
產品尺寸:
 202.54(L)x235(W)x218.94(H)mm
重  量:
容  量:13 PCS
適用晶圓:8 inch (Ø200mm) 晶圓
組成材質:PEEK ESD
槽  距:12.7mm
 
產品說明
PEEK Cassette 晶舟盒 晶圓載具 承載半導體晶圓片的容器,使用在站別運輸或出貨用途,不可使用於化學製程。PEEK Cassette 13 Slot 適用於加厚晶圓或薄化晶圓使用。 200mm(8吋) PEEK Cassette / 晶舟盒/晶圓載具
吋別 產品編碼 尺寸(mm) 裝箱數
4" PEEK Cassette PK-C100 142.0(L) x 125.5(W) x 114.5(H) 20 PCS
6" PEEK Cassette PK-C150 142.0(L) x 177.4(W) x 171.3(H) 12 PCS
6.125" PEEK Cassette PK-C155 143.5(L) x 177.8(W) x 171.45(H) 12 PCS
6.3" PEEK Cassette PK-C160 182.5(L) x 187(W) x 144(H)  
8" PEEK Cassette
25 slot 無把手
PK-C200 233.2(L) x 201.5(W) x 221.4(H) 6 PCS
8" PEEK Cassette
25 slot 有把手
PK-C200-H 233.2(L) x 218.5(W) x 221.4(H) 6 PCS
8" PEEK Cassette
13 slot有把手
PK-C200-T 235(L) x 202.54(W) x 218.94(H) 6 PCS
產品特點

耐高溫、高耐磨、高穩定性、抗靜電性材料
廠內傳送使用
可搭配8" Storage Box氣密保護晶圓
專利字號:
 台灣專利字號第M394313號
 中國大陸專利字號第CN201741675U號

Cassette依材質特性的選擇參考:
材質 耐溫度 特性 Cassette 應用
PP Cassette 40~60℃ 重量輕,
可焊接,缺點易變形。
一般傳輸製程
PEEK Cassette 150~180℃ 硬度高、耐高溫,
不易變形。
PBT Cassette 100~120℃ 抗燃、耐油性佳
PEI Cassette 130~150℃ 耐磨、抗靜電性。
客製化項目
可雷雕、可裝RFID進行載具&材料追蹤
加裝RFID   雷雕
加裝RFID   Cassette 雷雕
#晶舟盒#晶圓載具

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