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耐高溫卡匣 150mm(6吋) 12 slot

金屬晶圓盒 / 鐵製晶圓盒 / 耐高溫卡匣 / Metal Cassettem。承載半導體，二級發光體磊晶片、長晶片、晶圓片的容器使用在不同半導體，二級發光體長晶磊晶電池片製程中，適用於薄化晶圓。

耐高溫卡匣

鐵製晶舟盒150mm(6吋) 12 slot / 金屬晶圓盒 / 鐵製晶圓盒 / 耐高溫卡匣

產品名稱：6" Metal Cassette

產品編碼：MT-C150-T

產品尺寸：
143.38(L) x 177.8(W) x 171.33(H)mm

容　　量：12 PCS

適用晶圓：6 inch (Ø150mm) 晶圓

組成材質：Metal

槽　　距：9.53mm

鐵製晶舟盒 / 金屬晶舟盒 / 金屬晶圓盒 / 鐵製晶圓盒 / 耐高溫卡匣 / Metal Cassettem。承載半導體，二級發光體磊晶片、長晶片、晶圓片的容器使用在不同半導體，二級發光體長晶磊晶電池片製程中，適用於薄化晶圓，耐高溫，廠內傳送使用。

鐵製晶舟盒 / 金屬晶舟盒 / 金屬晶圓盒 / 鐵製晶圓盒 / 耐高溫卡匣 /
Metal Cassettem 2"~12"

Cassette依材質特性的選擇參考：

材質	耐溫度	特性	Cassette 應用
PFA Cassette	200~220℃	耐強酸強氟酸強鹼	酸鹼製程
Metal Cassette 鐵製晶舟盒	280~300℃	可客製化設計及修改，堅固耐用、不易毀損，並防止Particle、沾污等問題。	高溫製程
PP Cassette	40~60℃	重量輕，可焊接，缺點易變形。	一般傳輸製程
PEEK Cassette	150~180℃	硬度高、耐高溫，不易變形。
PBT Cassette	100~120℃	抗燃、耐油性佳
PEI Cassette	130~150℃	耐磨、抗靜電性。