製程耐溫密封卡匣

8" 13 Slot Special Wafer Cassette(PEI Cassette) / 製程耐溫密封卡匣，承載薄化晶圓用於一般製程，可耐溫120度，附蓋設計，加蓋後預防落塵可直接做傳輸使用。Cassette 設計有機械夾板，支援自動化傳輸，並有RunCard設計。