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開發產品為晶圓、光罩、面板保護承載及傳輸使用，提供無塵清洗以及實驗室檢驗服務。

首頁/產品訊息列表/晶圓傳送盒 200mm(8吋)

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晶圓傳送盒 200mm(8吋)

製程晶舟盒/晶圓盒/晶圓傳送盒/晶圓載具承載半導體晶圓片的容器，使用在站別運輸或出貨用途，不可使用於化學製程。可選抗靜電材料 Thin Wafer承載方案廠內傳送使用

晶圓盒

晶圓盒

200mm(8吋) Double Slot Cassette 晶圓盒/晶圓傳送盒/晶圓載具

Double Slot Cassette

產品名稱：Double Slot Cassette

產品編碼：
　無舌片款：DB-C200-T
　有舌片款：DB-C200-B

產品尺寸：
　240(L) x 250(W) x 225(H)mm(8")

重　　量：900g

容　　量：13 PCS

適用晶圓：6 inch / 8 inch

組成材質：客製化

槽　　距：12.7mm

製程晶舟盒/晶圓盒/晶圓傳送盒/晶圓載具承載半導體晶圓片的容器，使用在站別運輸或出貨用途，不可使用於化學製程。
可選抗靜電材料
Thin Wafer承載方案
廠內傳送使用

8吋Double Slot Cassette-無舌片

6吋Double Slot Cassette-有舌片

8吋Double Slot Cassette-無舌片

6吋Double Slot Cassette-有舌片

專利字號：
台灣專利字號第M394313號
中國大陸專利字號第CN201741675U號

材質	耐溫度	特性	Cassette 應用
PFA Cassette	200~220℃	耐強酸強氟酸強鹼	酸鹼製程中使用
PP Cassette	40~60℃	重量輕，可焊接。	一般傳輸製程
PEEK Cassette	150~180℃	硬度高、耐高溫，不易變形。
PBT Cassette	100~120℃	抗燃、耐油性佳
PEI Cassette	130~150℃	耐磨、抗靜電性。

可雷雕、可裝RFID進行載具&材料追蹤


Cassette 加裝RFID		Cassette 雷雕

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