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開發產品為晶圓、光罩、面板保護承載及傳輸使用,提供無塵清洗以及實驗室檢驗服務。
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晶圓傳送盒 200mm(8吋)

製程晶舟盒/晶圓盒/晶圓傳送盒/晶圓載具 承載半導體晶圓片的容器,使用在站別運輸或出貨用途,不可使用於化學製程。 可選抗靜電材料 Thin Wafer承載方案 廠內傳送使用

晶圓盒
晶圓盒

200mm(8吋) Double Slot Cassette 晶圓盒/晶圓傳送盒/晶圓載具

 
Double Slot Cassette
產品規格
產品名稱:Double Slot Cassette
產品編碼:
 無舌片款:DB-C200-T
 有舌片款:DB-C200-B
產品尺寸:
 240(L) x 250(W) x 225(H)mm(8")
重  量:900g
容  量:13 PCS
適用晶圓:6 inch / 8 inch
組成材質:客製化
槽  距:12.7mm
 
產品說明
製程晶舟盒/晶圓盒/晶圓傳送盒/晶圓載具 承載半導體晶圓片的容器,使用在站別運輸或出貨用途,不可使用於化學製程。
可選抗靜電材料
Thin Wafer承載方案
廠內傳送使用
8吋Double Slot Cassette-無舌片 6吋Double Slot Cassette-有舌片
8吋Double Slot Cassette-無舌片 6吋Double Slot Cassette-有舌片
 
產品特點

專利字號:
台灣專利字號第M394313號
中國大陸專利字號第CN201741675U號

材質 耐溫度 特性 Cassette 應用
PFA Cassette 200~220℃ 耐 強酸 強氟酸 強鹼 酸鹼製程中使用
PP Cassette 40~60℃ 重量輕,可焊接。 一般傳輸製程
PEEK Cassette 150~180℃ 硬度高、耐高溫,
不易變形。
PBT Cassette 100~120℃ 抗燃、耐油性佳
PEI Cassette 130~150℃ 耐磨、抗靜電性。
客製化項目
可雷雕、可裝RFID進行載具&材料追蹤
Cassette 加裝RFID   Cassette 雷雕
Cassette 加裝RFID   Cassette 雷雕
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