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鐵氟龍卡匣 150mm(6吋)

鐵氟龍晶圓盒 / 鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣為承載半導體晶圓片的容器，可依照客戶需求設計，耐高溫200~220℃、強酸、強氟酸、強鹼，應用於Fabrication廠內之酸鹼製程中使用、傳送晶圓。

鐵氟龍卡匣 150mm(6吋)

鐵氟龍晶圓盒 / 鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 150mm(6吋) 12 Slot

產品名稱：6" Teflon Cassette / PFA Cassette

產品編碼：PF-C150-T

產品尺寸：
　 177(L) x 145(W) x 173(H)mm

重　　量：860g

容　　量：12 PCS

適用晶圓：6 inch (Ø150mm) 晶圓

組成材質：Teflon(鐵氟龍) / PFA

槽　　距：9.525mm

鐵氟龍晶圓盒 / 鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣為承載半導體晶圓片的容器，可依照客戶需求設計，耐高溫200~220℃、強酸、強氟酸、強鹼，應用於Fabrication廠內之酸鹼製程中使用、傳送晶圓。槽距較大的設計，可應用於薄化晶圓。

進入化學酸、鹼蝕刻製程中，鐵氟龍晶圓盒需要靠手把夾持，可搭配鐵氟龍手把使用。

鐵氟龍晶圓盒 / 鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 8" 12" 13 slot

Teflon Cassette / PFA Cassette 全尺寸編碼列表
吋別	備註	產品編碼	尺寸	裝箱數
2"	無豆	PF-C050-B	142.1(L) x 67.8(W) x 59.00(H)mm	10 PCS
2"	有豆	PF-C050	142.1(L) x 67.8(W) x 59.0(H)mm	10 PCS
2.5"		PF-C060	142(L) x 79(W) x 73(H)mm	N/A
3"		PF-C075	142.49(L) x 94.36(W) x 82.53(H)mm	1 PCS
4"		PF-C100	142.24(L) x 125.48(W) x 114.3(H)mm	16 PCS
4"	鏤空	PF-C100-H	142.24(L) x 125.48(W) x 114.3(H)mm	16 PCS
5"		PF-C125	152.4(L) x 142.88(W) x 146.05(H)mm	6 PCS
6"		PF-C150	143.38(L) x 177.8(W) x 171.45(H)mm	12 PCS
6"	黑色	PF-C150-B	143.38(L) x 177.8(W) x 171.45(H)mm	12 PCS
6"	12 Slot	PF-C150-T	177.8(L) x 143.38(W) x 171.45(H)mm	12 PCS
6"	Low Profile	PF-C150-L	143.38(L) x 177.81(W) x 114.3(H)mm	12 PCS
8"		PF-C200	203.2(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm	2PCS
8"	鏤空	PF-C200-H	203.2(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm	2PCS
8"	13 Slot	PF-C200-T	203.05(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm	2PCS
8"	Low Profile	PF-C200-L	220.5(L) x 234.19(W) x 159(H)mm	1 PCS
12"	13 Slot	PF-C300-T	350(L) x 180(W) x 320(H)mm	N/A

Cassette依材質特性的選擇參考：

可雷雕、可裝RFID進行載具&材料追蹤


鐵氟龍晶圓盒 / Cassette 加裝RFID		鐵氟龍晶圓盒 / Cassette 雷雕

機型特點： 1.採用第三代德國固體光纖雷射器，電光轉換效率高達60%，優異的光束質量M2<1

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