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  Cassette光學自動檢測系統

  『光學自動檢測系統』『光學自動檢測系統』可提供晶圓廠檢測晶圓盒的各項重點尺寸，避免因為晶圓盒變形產生不必要的損

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  晶圓提把、晶圓手把、晶舟提把、晶舟手把

  規格說明:適用卡匣: 2至6吋卡匣組成材質: TeflonWafer size: 2~8i

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  光罩盒 Mask Package

  規格說明:外觀尺寸: 251.9(L)x251.9(W)x48(H)mm承載容量: 1 pcs適用晶

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  光罩傳送盒 (6吋)

  規格說明:外觀尺寸: 251.9(L)x251.9(W)x48(H)mm承載容量: maskx1組成

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  金屬晶圓盒、晶舟盒 (2至8吋)

  規格說明:承載容量: 25pc適用晶圓: 8吋組成材質: 金屬Capacity: 2

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  單片盒 (2至6吋)

  規格說明:適用晶圓: 2、4、6吋承載容量: 1 pcs組成材質: PPWafer s

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