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RSP150 - 光罩載具
光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150,高潔淨度可杜絕空氣中的汙染,確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護,應用於自動化曝光機台。
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https://topdiligent-capsule.web66.com.tw/web/NMD?postId=333467膠膜檢查機
機械功能:(1)可修邊複捲及自動計長停機功能 (2) 放料自動對邊及收放料自動張力控制 (3)